簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "應用科技研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="氮化鉭"


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    TaN、TaN+Cu及TiNO薄膜電阻元件
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 余奕衡 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究目的在開發高阻值(≧3 kΩ)以及低TCR值(±25 ppm/℃)之薄膜電阻元件。實驗材料系統可分為氮化鉭(TaN)、共濺鍍氮化鉭與銅複合膜(TaN/Cu)以及氮化氧鈦(TiNO),三種材料系…
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